解決方案

zuixin的OLED檢測工藝需要在線檢測面板缺陷的微觀3D形貌，為此韓國Nexensor推出了集精度和速度為一體的全新3D干涉掃描顯微鏡并成功解決了客戶的全新需求。

韓國Nexensor全新3D干涉掃描顯微鏡可在1300×1080μm 的視野范圍（FOV）實現0.1秒完成100frame的掃描；重復性高達10nm；垂直分辨率100nm。客戶使用我們的產品可以在1秒內完成一個缺陷的3D檢測，極大的提高了檢測效率和速度。為下一步激光修復工藝提供了準確的參數并能夠檢測激光修復后的結果。

通過使用韓國Nexensor全新3D干涉掃描顯微鏡，實現了在線檢測面板缺陷的3D形貌，大大提高了檢測效率，結合激光修復工藝使良品率進一步提升，增強客戶的產品競爭力。