SPS 旋涂儀 SPIN150i

1、結構：
   * NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蝕結構）為整個系統提供更好的剛性和韌性
   *高品質無縫制造表面，全工程塑料
   *適用于通風柜和雜物箱
   *最大處理室直徑：202毫米

2、數字電機控制：
    *具有數字增量速度信號的數字實時閉環控制伺服電機反饋
    *提供高精度的轉速（±0.1 rpm）和寬范圍的轉速（1至12,000 rpm），這是傳統PID電機控制器無法實現的

3、透明蓋：
   淬火的透明玻璃瓶蓋，帶有注射器支架和N2擴散器，可在處理過程中進行N2吹掃
  *注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學物質
  *控制室環境對于恒定的過程結果至關重要
  *堅固的自彈式蓋鉸鏈，可自動將蓋保持在ZJ狀態，以便輕松搬運和卸下基板；同時確保蓋子上的任何殘留化學物質都流入系統排水口
   *透明蓋清晰可見內部

4、安全聯鎖：
    *Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定，并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標時才能打開
    *電磁蓋聯鎖在打開時停止旋轉，而真空聯鎖（可編程）在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉
    *防止傷害使用者并避免基材破裂

5、連接：
  *三個可編程繼電器輸出，可用于操作自動分配系統，外部閥或其他附件。
  *多種夾頭可供選擇，用于直徑最大為160 mm的不同尺寸的基板
  *制氮過程中的氮氣擴散器
6、可拆卸控制器：可拆卸的全尺寸觸摸屏，手套防護，IP 52，耐化學腐蝕
7、彩色觸摸屏顯示：可輕松編程速度，加速度和時間
8、無限程序存儲：可用于多個步驟的配方，每個配方均適用于：
          *時間：0.1至99999秒/步
          *速度：0至12,000 rpm
          *旋轉方向：順時針，逆時針，攪動
          *加速/減速：1至30,000 rpm / sec（每步可選）
          *真空開/關
          *3個可編程的干觸點：例如用于分配單元，氮氣擴散器等的自動控制
9、USB端口：可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本
10、存儲：結構化和受密碼保護的方案存儲，可輕松安全地進行管理