低溫等離子·經典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
內槽
硅晶圓灰化狀態
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應
用途
● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計
規格：
型號 | PR500 | PR510 |
等離子模式 | DP模式，桶形 | |
高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | |
同調方式 | 自動協調 | |
反應腔 | 石英Φ215×305mm | |
反應氣體 | 2系統（O2／CF4） | |
控制 | 手動 | 觸模屏自動控制 |
配管材質 | 不銹鋼、特氟龍 | |
外形尺寸 | W438 x D520 x H760mm | 參照規格書 |
重量 | 約60kg | 參照規格書 |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |
報價：面議
已咨詢941次等離子清洗機
報價：面議
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報價：面議
已咨詢27次洗瓶機
1.頻次高，可精細化清洗，多應用于先進封裝和晶圓極封裝； 2.等離子腔內360度運動，清洗徹底； 3.等離子密度大，同等時間內清洗效果好。 4.腔內無電極 5.可反復清洗，不傷產品。
高精度、快響應、操控性、兼容性好、功能完善、專業。
小型等離子去膠機清洗機能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。本產品配備觸摸屏控制，操作更便捷，更智能。
Plasma清洗機，觸摸屏控制，該清洗機內置高純石英倉體，有效容積為500ml，結構為國際上的通用的真空石英法蘭密封結構。
表面處理效果好 處理產品廣 改性效果強
真空室自動開關，一鍵式啟停，操作簡單方便 真空室內置張力控制系統，穩定材料漲縮，使處理更加平穩 高性能等離子發生器，激發更為穩定之等離子體 水平電極結構設計，更適合柔性材料 采用中通水冷電極，真正實現過程溫度控制，均衡均一 獨特的卷曲設計，解決卷式材料穿料問題，牽引材料更便捷 精確速度控制，精準控制速度的同時，實現恒張力恒速度
觸摸屏操作界面 數字及圖標多重工藝參數實時顯示 三色燈異常報警功能 自動/手動操咋作模式切換 可存儲多套工藝配方 遠程操控，數據導出（可選） 特殊電極、氣路設計，均勻性好 平板式、滾輪式載具平臺（可選） 適用半導體封裝引線框架的批量處理
觸摸屏操作界面 數字及圖標多重工藝參數實時顯示 三色燈異常報警功能 自動/手動操作模式切換 可存儲多套工藝配方 遠程操控，數據砸導出（可選） 模塊多樣化選擇 多層托架可選，處理量大
營業執照已審核
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