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OAI 紫外光刻機 Model 200 型
- 品牌：美國OAI
- 型號： Model 200
- 產地：美洲 美國
- 供應商報價：面議
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深圳市藍星宇電子科技有限公司
更新時間：2025-08-08 11:11:18 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業執照已審核
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產品特點
- 美國 OAI 光刻機 Model 200 型桌面掩模對準器系統，完全手工操作，輸出光譜范圍:Hg: G(436海里),H(405海里),I(365nm)和310nm線，Hg-Xe: 260nm和220nm或LED: 365nm, 395nm, 405nm
詳細介紹
美國 OAI 光刻機 Model 200 型桌面掩模對準器系統
完全手工操作
。輸出光譜范圍:Hg: G(436海里),H(405海里),I(365nm)和310nm線，Hg-Xe: 260nm和220nm或LED: 365nm, 395nm, 405nm
。襯底從塊大小8平方
。互換拋擲和面具
。紫外燈功率范圍從200到2000 w
。選擇紫外LED光源(365 nm和405 nm)
。空氣軸承真空吸盤
。接近(15-20um): & lt; 3.0 - 5.0, 軟接觸:2.0um，硬觸點:1um和真空接點:≤0.5um
。對齊模塊X, Y,和Z軸和θ
。雙通道光學反饋
。只提供正面接觸w / IR選項
。可用在桌面選項只適用于研發及獨立工作
。.占用空間小
。適用于生物學、微機電系統、半導體和 Microfludics CLiPP應用程序
Model 200 Table Top Mask Aligner System
Complete Manual Operation。 Output Spectra Range: Hg: G (436nm), H (405nm),I(365nm) and 310nm lines, Hg-Xe: 260nm and 220nm orLED: 365nm, 395nm and 405nm。Substrate Sizes from Pieces to 8” sq。 Interchangeable chucks and mask holders。 UV Lamp Power range from 200 to 2,000W。Option for UV LED (365nm and 405nm) Light Source。 Air bearing vacuum chuck。 Proximity (15-20um): <3.0 – 5.0um,Soft Contact:<2.0um, Hard contact: 1um andvacuum contact : ≤ 0.5um。Alignment module X, Y, and Z axis and theta。 Dual-channel optical feedback。 Provides Front side exposure only w/ IR Option。 Available in Table top option only and applicable for R&D and standalone work。 Small Footprint。 Applicable for Biology, MEMS, Semiconductor and Microfludics, CLiPP application
滬公網安備 31011502008050號