產(chǎn)品簡介:

FS-Pro系列是業(yè)界wei一的人工智能驅(qū)動的一體化半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，單臺設(shè)備具備IV, CV 與 1/f noise 測試能力，內(nèi)建的AI算法加速技術(shù)全面提升測試效率。業(yè)界低頻噪聲測試黃金系統(tǒng)9812DX和 FS-Pro 的融合使兩個產(chǎn)品不但功能更加完整，性能也都有大幅提升。

FS-Pro可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體典型器件、LED材料、二維器件、金屬材料、新型先進(jìn)材料與器件測試。FS-Pro可支持達(dá)上百個通道。內(nèi)置測量軟件提供數(shù)百個預(yù)定義的測試模板和功能，實(shí)現(xiàn)即插即用體驗(yàn)。
基于在產(chǎn)線測試與科研應(yīng)用方面的優(yōu)異表現(xiàn)，F(xiàn)S-Pro不僅被多家全球領(lǐng)先的設(shè)計(jì)公司和半導(dǎo)體代工廠，IDM和設(shè)計(jì)公司采用，在學(xué)術(shù)界也受到廣泛認(rèn)可，已被數(shù)十所大學(xué)及研究機(jī)構(gòu)所采用。

產(chǎn)品優(yōu)勢

一體化: 業(yè)界shou個集成IV測試、CV測試、低頻噪音(1/f noise)于單臺儀器中，無需換線和更新連接即可完成全部低頻參數(shù)化表征。
超快速：FS-Pro系列較傳統(tǒng)半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，其測試速度高達(dá)10倍，業(yè)界SCAI測試加速卡，體驗(yàn)強(qiáng)大速度提升，同時(shí)保持測試精度。
模塊化架構(gòu)：PXI模塊化架構(gòu)，可輕松擴(kuò)展支持生產(chǎn)測試（如 WAT），輔以其高速和完整特性，可以大幅加速量產(chǎn)測試。
操作便捷：內(nèi)置測量控制軟件LabExpress?，擁有直觀的用戶圖形界面，僅需點(diǎn)擊幾下鼠標(biāo)就可以完成強(qiáng)大的器件特性分析功能。可選工業(yè)級測試軟件FastLab, 支持自動探針臺，第三方儀器和SRAM，可靠性測試等工業(yè)測試需求。
寬量程：高達(dá)200V，1A（脈沖3A），0.1fA的靈敏度。
建模仿真：可選內(nèi)置器件建模與仿真軟件（BSIMProPlus/MeQLab/NanoSpice），形成測試，建模仿真系統(tǒng)。

產(chǎn)品應(yīng)用

可應(yīng)用于半導(dǎo)體典型器件、LED材料、二維器件、金屬材料、新型先進(jìn)材料與器件測試。FS-Pro可支持達(dá)上百個通道。內(nèi)置測量軟件提供數(shù)百個預(yù)定義的測試模板和功能，實(shí)現(xiàn)即插即用體驗(yàn)。
IV電流電壓測試。
CV電容電壓測試。
1/f noise低頻噪音測試。
Pulse脈沖生成。

高采樣率的IV-T模式。

產(chǎn)品指標(biāo)

IV電流電壓測試
高精度參數(shù)測量 ，zui大電壓200V, 分辨率0.1fA，電流測量精度30fA，zui大直流電流1A，脈沖電流3A。

高采樣率的IV-T模式

FS-Pro的SMU的I-T采樣率指標(biāo)，最小設(shè)定1e-6s（1us），數(shù)據(jù)存儲達(dá)10萬個點(diǎn)，目前在業(yè)界已經(jīng)驗(yàn)證，在SMU的指標(biāo)中是最高的。
CV電容電壓測試
內(nèi)建CV頻率范圍10Hz~10kHz，最小可測電容20fF，直流偏置電壓200V。外置LCR提供高精度（10fF@2MHz，內(nèi)建直流偏置40V）和高帶寬（8MHz）兩個選項(xiàng)，同時(shí)軟件支持第三方工業(yè)主流LCR，如E4980A，428x系列等。
1/f noise低頻噪音測試 
帶寬：0.001Hz-100KHz 
噪音分辨率： 2e-28A2/Hz 
測量速度： <10秒鐘/偏置（f>0.5Hz）
DUT最小阻抗：500歐姆 
DUTzui大直流偏置和電流：200V, 1A 
Pulse脈沖生成功能 
電壓范圍±200V, 最小脈寬50us，最小分辨率100nV