LT系列位移平臺采用經過特殊設計的空氣軸承，該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優化。與傳統的軸承相比，采用氣體為潤滑劑，因此所有運動都是無接觸的，因此在整個使用壽命之內，設備的性能保持不變，并且無需進行特殊維護。此外位移平臺采用直線電機直接驅動，無須螺桿或齒輪進行傳動實現了非常平滑的無干擾的高精度的運動。通過使用天然大理石為平移臺移動的桌面，可以實現非常高的重復定位精度。從而使位移平臺擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。

上海昊量光電設備有限公司推出的空氣軸承位移平臺可提供從200mm-1500mm不同行程的平臺,在可提供大行程的同時，精度可達到300nm，平移臺擁有優異的分辨率，重復精度可達到100nm。

此外提供高精度的復雜運動和定位方案：

提供不同應用中需要的定位平臺、控制器和相關軟件

?整體解決方案

 ?定制化解決方案 

?復雜的多軸與并聯運動系統 

?超精密空氣與機械軸承

?軟件集成：: LABVIEW, Tango, Epics……

產品特點：

l   優異的重復精度

l   超大行程

l   采用空氣軸承，無需維護

l   可按客戶要求進行定制

主要應用

l   高性能掃描

l   光學檢測系統

l   超精密研磨和切削

l   光伏系統

l   yi療系統

l   同步輻射或X射線

l   激光加工

l   半導體行業

l   晶體處理

產品參數：