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拉曼/熒光/光電流原位測試系統STS系列

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產品特點

基于RTS-mini顯微系統而搭建,集成拉曼/熒光/光電流原位測試功能,配合高精度微米電動位移臺,實現Raman/PL Mapping及激光誘導光電流成像。深度表征材料內部分子振動能級與轉動能級結構信

詳細介紹

產品概述

基于RTS-mini顯微系統而搭建,集成拉曼/熒光/光電流原位測試功能。該系統可原位探測拉曼、熒光及光電流信號。配合高精度微米電動位移臺,實現Raman Mapping,PL Mapping以及激光誘導光電流成像(LBIC)。深度表征材料內部的分子振動能級與轉動能級結構信息,光生載流子的生成與復合機制,器件吸收和電荷生成的微區特性,光電材料界面以及半導體結區的品質分布等特性。

430_STS.png

拉曼/熒光/光電流原位測試系統技術參數

拉曼/拉曼Mapping

拉曼頻移范圍

60-6000cm-1 @532nm激光器

共焦方式

光纖共聚焦

高靈敏度

硅三階拉曼峰的信噪比好于20:1,并能觀察到四階峰

空間分辨率

≤1μm@100X物鏡,NA0.9,532nm單縱模激光器

光譜CCD探測器

分辨率≥2000x256

量子效率在700nm-870nm區間處>90%,

光譜范圍:200 ~ 1100 nm

熒光/熒光壽命成像

光譜掃描范圍

200-900nm

最小時間分辨率

16ps

熒光壽命測量范圍

500ps-10μs

空間分辨率

≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈沖激光器

光電流/光電流成像

激光器(光源)

標配532nm激光器,能量穩定性1%@4小時

可選配2路激光器用于光電流測試

數據采集

電流源表:Keithley 2450

測量范圍:1nA – 1A

暗噪聲:50pA

分辨率:20fA

準確度: 0.03%

探針臺

直徑65mm真空吸附卡盤

探針座和樣品整體二維移動,方便樣品位置與光斑位置重合

樣品位置單獨二維移動,方便同類樣品更換

樣品位置移動行程25mm,分辨率5μm

探針座:XYZ行程12mm,分辨率0.7μm

探針:鎢針,直徑5μm,10μm,20μm可選

測試功能

光電流掃描(Mapping):可以設定固定的電壓,逐點獲取電流值

I-V曲線掃描(Mapping):可以設定指定的電壓區間,逐點獲取I-V曲線

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