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準分子激光器:CLS 5000

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俄羅斯Optosystem :CLS5000 歐洲 俄羅斯 2025-08-11 07:49:07
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產品特點:

準分子激光器:CLS 5000 準分子激光器是傳統的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應用上,準分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。

產品詳情:

準分子激光器:CLS 5000

準分子激光器是傳統的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應用上,準分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。



CLS 5000技術參數:

激光介質

ArF

KrF

XeCl

波長 (nm)

193

248

308

ZD脈沖能量 (mJ)

15

25

12

ZD重復頻率 (Hz)

500

ZD平均功率 (W)

7.5

12.5

6

脈沖能量穩定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

12 х 3.5

12 х 4

12 х 4

光束發散角(FWHM, mrad, VхH)

2 х 1

脈沖持續時間 (FWHM, ns)

10 – 12

冷卻方式

水冷

重量 (kg)

85

尺寸 (LхWхH, mm)

890 х 340 х 460

電源

220 V, 50-60 Hz, < 1000 VA



可選功能和附件:


可能配置1000和2000赫茲


CLS 5000主要特點:


非常高的光束指向穩定性

高重復頻率

能量穩定性好

設計緊湊

內置能量控制

帶磁轉換發生器


應用:


布拉格光柵

無掩膜光刻

準分子材料加工

激光視力矯正


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