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德國Diener PECVD等離子體化學氣相沉積設備 TETRA240
- 品牌：德國Diener
- 型號： DienerPECVDTETRA240
- 產地：歐洲 德國
- 供應商報價：面議
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深圳市科時達電子科技有限公司
更新時間：2025-06-04 06:48:57 -
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產品特點
- 德國Diener PECVD等離子體化學氣相沉積設備該PECVD系統可以沉積高質量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜、硬質薄膜、光學薄膜等。
詳細介紹
德國Diener PECVD等離子體化學氣相沉積設備
該PECVD系統可以沉積高質量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜、硬質薄膜、光學薄膜等。主要技術參數：PC控制軟件RF發生器 0~3000W 脈沖模式腔體防腐處理，400*400*1500mm,240L腔體加熱80℃帶觀察窗多路工藝氣體通道，MFC控制 防腐處理HMDSO單體通道易燃易爆氣體安全閥Gas Shower氣浴電極設備外尺寸2000*600*1700mm進口真空泵組電壓 3項400V
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滬公網安備 31011502008050號