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儀器網>產品中心> 深圳市科時達電子科技有限公司>鍍膜沉積機> 脈沖激光沉積系統>Beneq TFS 200原子沉積系統

Beneq TFS 200原子沉積系統

面議 (具體成交價以合同協議為準)
深圳科時達 TFS 200 歐洲 芬蘭 2025-08-11 07:49:07
售全國 入駐:4年 等級:銀牌 營業執照已審核
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產品特點:

Beneq TFS 200 是一款適用于科學研究和企業研發的Z靈活的 ALD 平臺。 Beneq TFS 200 是為多用戶研究環境中將可能發生的交叉污染降至Z低而特別設計的。各種配置選項和升級意味著 Beneq TFS 200 將與您一起成長,以滿足高標準的研發需求。

Beneq TFS 200 不僅可以在晶圓,平面物體上鍍膜,還適用于粉末,顆粒,多孔的基底材料,或是有高深徑比的3D物體內沉積高保形薄膜。

產品詳情:


直接和遠程等離子體沉積 (PEALD) 可作為 Beneq TFS 200 的標準選項。等離子體是電容性耦合(CCP),這是當今的工業標準。等離子體選件可為直徑200毫米的基板(面朝上或面朝下)提供直接和遠程等離子體增強沉積 (PEALD) 。

  • 循環周期小于2秒。在特定的條件下可以小于1秒。

  • 高深徑比(HAR)選項適用于通孔和多孔的基底材料。

  • 可快速加熱和冷卻的冷壁真空反應腔。

  • 安裝在真空反應腔的輔助接口可實現等離子體和在線診斷等。

  • 加載鎖可用于快速更換基底材料并與其他設備集成。


1325 x 600 x 1298 mm

ALD系統尺寸

Production/R&D

應用

25 – 500 °C

溫度范圍

Up to 8

氣體管道


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產品知識

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