跨尺度納米輪廓儀 AFX-1000-3D

亞納米分辨力3維成像

跨越6個量級的臺階尺度精測

晶圓面型應力分析

主要應用： 

可應用于精密加工元件(包括各種尺寸的光學鏡頭、鏡面及金屬加工件)的面形以 及中頻和高頻粗糙度測量。并可用于各種材料納米尺度精測，包括晶圓、高分子材料、 二維材料等。

高速 PID 控制系統

局域 3D 成像功能

大尺度線掃描(profiling)

XY 電動平臺運動范圍

(光柵尺分辨率20nm):300mm×300mm;

· Z 電動平臺運動范圍

(光柵尺分辨率5nm):30mm;

· 探針掃描器范圍：100um×100um×15um;

· XY 閉環位置控制噪音：1nm;

· 整機噪音(Z):30pm;

· 縱向尺度和粗糙度測量：3σ≤0.01nm;

· 橫向尺度測量：3σ≤1nm(or 1%量程);

圖像分辨率可以達到2048×2048。

主要技術及指標

高精度測量頭 

· 探針掃描器范圍：100um×100um×15um; 

· XY 閉環位置控制噪音：1nm; 

· 整機噪音 (Z):30pm; 

· 位移傳感噪聲：≤40fm/√Hz; 

· 具備急停保護功能，當探針誤撞樣品等危險 狀況可觸發急停，從而保護測頭和樣品。

無調節換針技術

優勢技術

高精度機械定位結合磁吸技術實現探針-激光 -光電傳感器自動對準，無需光路調節。

跨尺度掃描平臺(選配)

跨尺度掃描平臺(選配)

· 直線電機驅動； 

· 掃描臺行程：20mm; 

· 運行縱向穩定性：±2nm; 

· 光柵分辨率：5nm; 

· 重復定位精度：≤100nm。

高速FPGA 反饋控制器

· 具備高精度模擬信號輸入與輸出能力； 

· 線性電源實現極低噪聲； 

· 具備10通道數據采集、信號分析、顯示 及存儲能力； 支持正弦波電壓輸出，頻率范圍覆蓋 DC-2MHz, 頻率遞增步長≤0.1Hz; 數字IO接口支持5軸電機高精度控制。

高速AD 

4通道，16位，采樣率10MHz,輸入電壓范圍±5V 

低速AD 

6通道，24位，采樣率1MHz,輸入電壓范圍±10V 

高速DA 

2通道，16位，采樣率50MHz,輸出電壓范圍±2.5V 

低速DA 

4通道，20位，采樣率416.7KHz,輸出電壓范圍±10V/0-10V 

數字DI接口 

單端DI 16個，差分DI 18對 

數字DO接口 

單端DO 24個，差分DO 4對 

通訊接口 

千兆以太網，485串口

應用實例

粗糙度

粗糙度及圖案3維關鍵尺度測量，粗糙度精測 (metrology)3sigma可達到10pm;縱向分辨力優 于30pm, 橫向分辨力取決于探針銳度，系統橫向分 辨力高于0.1nm。

尺寸精測

尺寸精測：支持5:1深寬比溝槽 結構關鍵尺寸測量，包括 CD、LER、 LWR, 支 持 XY 向 最 大 掃 描 范 圍 ： 100um*100um,Z 方向測量范圍： 0.1nm-15um。

跨尺度測量(Profiling)

可連續精測0.1nm 到 1mm 的 臺階，包括側壁粗糙度，并保持亞 納米縱向分辨力；該功能采用獨特 專 利技術和探針。

系統指標