探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）

Tencor P7 /P17

UltraLite 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了卓 越的測(cè)量穩(wěn)定性。通過(guò)使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式。支持2D或3D測(cè)量，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來(lái)測(cè)量表面形貌。通過(guò)圖形識(shí)別、序列和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。

技術(shù)特點(diǎn)

◆ 高精度2D/3D 表面形貌掃描

◆ 超大范圍的單次掃描量程，無(wú)需圖像拼接

◆ 納米至1000微米臺(tái)階高度測(cè)量

◆ 粗糙度和波紋度測(cè)量

◆ 樣品翹曲和曲率半徑測(cè)量

◆ 2D/3D薄膜應(yīng)力測(cè)量

◆ 表面缺陷檢測(cè)

探針掃描

掃描載臺(tái)具有單程150 mm的精確掃描范圍以及最 大1 mm的掃描高度范圍，從而保證Z高質(zhì)量的2D和3D掃描數(shù)據(jù)。

3D成像

通過(guò)3D掃描可以得到表面的三維成像，呈現(xiàn)出彩色三維圖像或自上而下的等高線(xiàn)圖像?？梢詮闹刑崛〗孛?線(xiàn)中的三維或二維數(shù)據(jù)。

應(yīng)力分析

能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤(pán)將樣品支撐在中性位置并精確測(cè)量樣品翹曲，然后通過(guò)應(yīng)用Stoney方程來(lái)計(jì)算應(yīng)力。2D應(yīng)力通過(guò)在直徑達(dá)150mm的樣品上通過(guò)單次掃描測(cè)量，無(wú)需圖像拼接。3D應(yīng)力的測(cè)量采用多個(gè)2D掃描，并結(jié)合θ平臺(tái)在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對(duì)整個(gè)樣品表面進(jìn)行測(cè)量。

Apex軟件

Apex分析軟件通過(guò)提供調(diào)平、濾鏡、臺(tái)階高度、粗糙度和表面形貌分析技術(shù)的擴(kuò)展套件，增強(qiáng)了P-7的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)分析能力。 Apex支持ISO粗糙度計(jì)算方法以及如ASME之類(lèi)的本地  標(biāo)準(zhǔn)。 Apex還可用作報(bào)告編寫(xiě)平臺(tái)，具有添加文本、注釋和是/否合格的準(zhǔn)則。 Apex提供八種語(yǔ)言的版本。