Dektak8臺階式探針輪廓儀,結(jié)構(gòu)緊湊,可提供很高的重復(fù)性和精度。獨特的XY方向定位系統(tǒng)可移動到8x8inch區(qū)域的任何位置。它不僅能測量臺階高度和表面紋理,還能測量金屬蝕刻速率的均勻性、焊點高度、纖維光學(xué)元件和顯微透鏡。全程程序控制的Dektak8系統(tǒng)對于MEMS,納米技術(shù)和半導(dǎo)體應(yīng)用都非常方便。
臺階高度重復(fù)性: 7.5,1σ在1um標(biāo)準(zhǔn)臺階上
最大晶圓尺寸:200mm
最大樣品厚度:25.4mm (1 in.)
每次掃描數(shù)據(jù)點:最多可達(dá)60,000數(shù)據(jù)點
掃描長度范圍:標(biāo)配最大50mm
垂直范圍:標(biāo)配262um;可選1mm
最大垂直分辨率:1 (6.55微米垂直范圍下)
1. 臺階高度測量重復(fù)性高
2. 是功能最為強大的探針輪廓儀,可最大限度的滿足各種應(yīng)用需要
3. 簡單易用
4. 作為一款桌面型輪廓儀,掃描范圍可達(dá)200mm
上傳人:上海科學(xué)儀器有限公司
大小:0 B
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