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儀器網>產品中心> 上海納騰儀器有限公司>微納加工>沉積設備>離子束刻蝕/沉積系統 EIS-200

離子束刻蝕/沉積系統 EIS-200

面議 (具體成交價以合同協議為準)
納騰 EIS-200 上海 徐匯區 2025-08-11 15:10:52
售全國 入駐:10年 等級:銀牌 營業執照未審核
同款產品:沉積設備(7件)
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產品特點:

EIS-200是Elionix推出的一款基于電子回旋共振技術(ECR)的小型離子束蝕刻系統,特別適合于科研用離子束刻蝕、減薄,清洗、沉積等。

產品詳情:

簡介

EIS-200是Elionix推出的一款基于電子回旋共振技術(ECR)的小型離子束蝕刻系統,特別適合于科研用離子束刻蝕、減薄,清洗、沉積等。



EIS-200原理:


利用ECR技術產生高能Ar+離子束,Ar+離子束通過電場加速到達樣品表面,對樣品進行物理的轟擊達到刻蝕作用。

       

EIS-200具有以下優點:

方向性好,各向異性,陡直度高,側向刻蝕少

分辨率高

不受刻蝕材料限制,可對石英等材料進行蝕刻

可控制蝕刻Taper角

可以設定多樣的實驗條件

NPD(納米圖案成膜單元)選項(如下圖)


主要功能

納米級圖案刻蝕

高深寬比蝕刻

離子束沉積

表面清潔

離子減薄


技術能力

應用

納米級圖案刻蝕、高深寬比蝕刻、表面清潔、離子減薄等

SiO2 on Si substrate



Diamond Substrate(金剛石)

        


Quartz (Mask)



             

Oriented PET film

     


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