MPCVD 法是在微波能量的作用下，將沉積氣體激發成等離子體狀態，在由微波產生的電磁場的作用下，腔體內的電子相互碰撞并產生劇烈的振蕩，促進了諧振腔內其它的原子、基團及分子之間的相互碰撞，從而有效地提高反應氣體的離化程度，達到輝光發電，產生更高密度的等離子體。德國 iplas公司的獨 家 專 利多天線耦合微波等離子技術（CYRANNUS?），可在反應腔中實現極高的 SP3 鍵轉化率，使得腔體中充滿過飽和原子氫和含碳基團，從而有效地提高了沉積速率并且使得金剛石的沉積質量得到改善，這正是獲取優質金剛石的技術基礎。德國 iplas 推出的微波等離子化學氣相沉積系統（MPCVD），其真空室的形式為金屬腔-石英管一體式，壓力操作范圍從 10mbar 到室壓范圍，可制備大尺寸、優質金剛石（工藝參數得當可制備出首飾級鉆石）和高均勻性的金剛石厚膜。