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SMEE 300系列光刻機 —— LED、MEMS、Power Devices
- 品牌：上海品測
- 型號： SMEE 300
- 產地：上海 嘉定區
- 供應商報價：面議
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上海品測精密儀器有限公司
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銷售范圍售全國
入駐年限第5年
營業執照已審核
- 同類產品實驗室常用設備(15件)
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產品特點
- SSB300系列步進投影光刻機面向6英寸以下中小基底光刻應用領域，滿足HB-LED、MEMS和Power Devices等領域單面或雙面光刻工藝需求。
詳細介紹
產品介紹：
SMEE 300系列光刻機 —— LED、MEMS、Power Devices
SSB300系列步進投影光刻機面向6英寸以下中小基底光刻應用領域，滿足HB-LED、MEMS和Power Devices等領域單面或雙面光刻工藝需求。
產品特征
● 高分辨率，分辨率可達0.8μm
● 高速在線MAPPING技術
● 多尺寸基底自適應切換
● 高產能
● 高精度套刻
● 完 美匹配ALIGNER
主要技術參數
型號
SSB300
SSB320
SSB380
分辨率
0.8微米
2微米
1.5微米
曝光光源
i-line mercury lamp
基底尺寸
100/150 mm
100/150 mm
100/150 mm
工藝應用
支持LED PAD/PSS工藝
支持LED PAD工藝
可選配置
背面對準和可變狹縫（Variable Slit）
滬公網安備 31011502008050號