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賽默飛 Scios 2 DualBeam 雙束掃描電子顯微鏡FIB-SEM

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為您推薦

產品特點

快速、便捷的制備
使用 Sidewinder HT 離子柱獲得高質量、現場特定的 TEM 和原子探針樣品。

超高分辨率成像
使用在Z廣泛的樣品范圍(包括磁性和非導電材料)內具有一流性能的 Thermo Scientific NICol 電子色譜柱。

Z完整的樣品信息
通過各種集成式色譜柱內和透鏡下檢測器獲得清晰、精確和無電荷的對比度。

高質量、多模式亞表面和 3D 信息
使用可選配的 AS&V4 軟件,通過精確靶向感興趣區域來獲得高質量、多模式亞表面和 3D 信息。

精確的樣品導航
高度靈活的 110 mm 載物臺和腔室內 Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機允許根據具體應用需求進行定制。

無偽影成像和構成圖案
具有專用模式,如 DCFI、漂移抑制和 Thermo Scientific SmartScan 模式。

優化您的解決方案
靈活的 DualBeam 配置,包括可選配的Z高 500 Pa 腔室壓力低真空模式,可滿足具體的應用要求。

詳細介紹

Thermo Scientific Scios 2 DualBeam 

是一套超高分辨率的分析 聚焦離子束掃描電子顯微鏡 (FIB-SEM) 系統,可為包括磁性和非導電材料在內的各種樣品提供出色的樣品制備與 3D 表征性能 。Scios 2 DualBeam 通過創新的功能設計提高了通量、精度以及易用性,是滿足科學家和工程師在學術、政府以及工業研究領域高級研究和分析需求的理想解決方案。


高質量亞表面和 3D 信息

通常需要進行亞表面或三維表征以更好地理解樣品的結構和性質。Scios 2 DualBeam 及可選配的 Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) 軟件可提供高質量、全自動的多模式 3D 數據集采集,包括用于最大材料對比度的背散射電子 (BSE) 成像、用于組成信息的能量色散光譜 (EDS) 以及用于微觀結構和晶體學信息的電子背散射衍射 (EBSD)。與 Thermo Scientific Avizo 軟件組合使用后,Scios 2 DualBeam 可為納米級的高分辨率、高級 3D 表征以及分析提供獨特的工作流程解決方案。


以超高分辨率提供完整的樣品信息

創新的 NICol 電子色譜柱為系統的高分辨率成像和檢測能力提供了基礎。它適用于多種工作條件,無論是在 30 keV 的 STEM 模式下(訪問結構信息)還是以較低能量(獲得無電荷的詳細表面信息)運行,都可以提供出色的納米級細節。Scios 2 DualBeam 具有獨特的鏡筒內 Thermo Scientific Trinity 檢測系統,專用于同時采集角和能量選擇二級電子 (SE) 以及 BSE 成像數據。不僅可以快速訪問從上到下的詳細納米級信息,還可快速訪問傾斜的樣品或交叉切片的信息。可選配的透鏡下檢測器和電子束減速模式可以快速、便捷地同時采集所有信號,揭示材料表面或交叉切片中最小的特征。借助獨特的、具有全自動對齊功能的 NICol 色譜柱,可獲得快速、準確、可重現的結果。


快速、便捷地制備高質量 TEM 樣品

科學家和工程師不斷面臨新的挑戰、需要對越來越復雜的樣品的更小特征進行高度局部表征。Scios 2 DualBeam 的最新技術創新與可選、易用和全面的 Thermo Scientific AutoTEM 4 軟件以及賽默飛世爾科技的應用專業知識相結合后,可支持客戶快速方便地制備用于多種材料的 自定義高分辨率 S/TEM 樣品。為了獲得高質量結果,需要使用低能量離子進行最終拋光,以盡可能減少對樣品表面的損壞。Thermo Scientific Sidewinder HT 聚焦離子束 (FIB) 鏡筒不僅能夠在高電壓下具有高分辨率成像和銑削能力,還具有良好的低電壓性能,能夠創建高質量的 TEM 薄片。


規格

電子束分辨率
  • 最佳 WD

    • 在 30 keV STEM 下為 0.7 nm

    • 在 1 keV 下為 1.4 nm

    • 在 1 keV(射束減速)下為 1.2 nm

電子束參數空間
  • 電子束電流范圍:1 pA 至 400 nA

  • 著陸能量范圍:20* eV – 30 keV

  • 加速電壓范圍:200 V – 30 kV

  • 最大水平射野寬度:7 mm WD 時為 3.0 mm,60 mm WD 時為 7.0 mm

  • 可通過標準導航剪輯提供超寬視野 (1×)

離子光學系統
  • 加速電壓:500 V – 30 kV

  • 電子束電流范圍:1.5 pA – 65 nA

  • 15 位置光闌條

  • 漂移抑制模式,為非導電樣品的標準模式

  • 最小離子源壽命:1,000 小時

  • 離子束分辨率:選擇角方法下 30kV 時為 3.0 nm

檢測器
  • Trinity 檢測系統(鏡筒內和色譜柱內)

    • T1 分段式下鏡筒內檢測器

    • T2 上鏡筒內檢測器

    • T3 可伸縮色譜柱內檢測器(可選配)

    • 多達 4 個同時檢測的信號

  • Everhart-Thornley SE 檢測器 (ETD)

  • 用于二級離子 (SI) 和二級電子 (SE) 的高性能離子轉換和電子檢測器 (ICE)(可選配)

  • 可伸縮、低電壓、高對比度、分段式、固態反向散射電子檢測器 (DBS)(可選配)

  • 帶 BF/DF/HAADF 分段的可伸縮 STEM 3+ 檢測器(可選配)

  • 查看樣品和腔室的 IR 攝像機

  • 腔室內 Nav-Cam 樣品導航攝像機(可選配)

  • 集成的光束電流測量

載物臺和樣品

靈活的 5 軸電動平臺:

  • XY 范圍:110 mm

  • Z 范圍:65 mm

  • 旋轉:360°(無限)

  • 傾斜范圍:-15° 至 +90°

  • XY 重復性:3 μm

  • 最大樣品高度:與共心點間距 85 mm

  • 0° 傾斜時的最大樣品重量:5 kg (包括樣品架)

  • 最大樣品尺寸:完全旋轉時 110 mm(也可以是更大的樣品,但旋轉有限)

  • 計算中心旋轉和傾斜

* 可選配,取決于配置


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