150T Plus為緊湊的分子渦輪泵鍍膜系統(tǒng)，適合SEM、TEM及許多薄膜應(yīng)用。

150T Plus  集成了濺射和碳蒸鍍兩種沉積鍍膜功能的高分辨鍍膜系統(tǒng)

新款改進(jìn)

● 觸摸屏更換成便于操作的電容觸摸屏

● 固件更新，新版操作界面類似安卓系統(tǒng)，便于客戶上手

● 新的彩色LED可視狀態(tài)指示燈

● 雙核ARM處理器，可快速響應(yīng)

● USB接口可以用于固件更新，并可將鍍膜方案文件備份/復(fù)制到USB存儲設(shè)備

● 可以通過USB端口以.csv格式導(dǎo)出過程日志文件，以便統(tǒng)計(jì)分析

主要特點(diǎn):  

● 金屬濺射或碳蒸發(fā)一體化設(shè)計(jì)，節(jié)省空間

● 適合FE-SEM制樣的精細(xì)鍍膜和薄膜應(yīng)用

● 渦輪分子泵高真空系統(tǒng)，適合不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材

● 全自動觸摸屏控制，快速數(shù)據(jù)輸入，操作簡單

● 可儲存多個(gè)客戶自定義鍍膜方案：對多用戶實(shí)驗(yàn)室十分理想

● 預(yù)編程自動真空控制

● 使用膜厚監(jiān)控選件精確控制膜厚

● 智能系統(tǒng)識別，自動感知用戶所插入鍍膜頭的類型

● 高真空碳蒸鍍，對SEM和TEM鍍碳膜應(yīng)用非常理想

● 先進(jìn)的碳棒蒸鍍槍設(shè)計(jì)和電流控制技術(shù)，操作簡單，重現(xiàn)性好

● Drop-in式快速換樣品臺（標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺）

● 真空閉鎖功能，讓工作腔室在待機(jī)使用時(shí)亦處于真空狀態(tài)

● 不破壞真空條件下的濺射時(shí)間可長達(dá)60分鐘，適合材料科研應(yīng)用

● 人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，整體成型機(jī)殼，維護(hù)、拆裝容易

技術(shù)參數(shù):   

● 工作腔室：165mm外徑 x 127mm高

● 觸摸屏全圖像用戶界面

● 靶材：標(biāo)配直徑57mm x 厚0.3mm Cr靶

● 樣品臺：標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺，直徑60mm，轉(zhuǎn)速8-20 rpm ，可選配旋轉(zhuǎn)傾斜臺。

● 真空系統(tǒng)：

渦輪分子泵：帶有空氣冷卻的渦輪分子泵

旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵：雙程旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵

● 極限真空度：5 x 10-5mbar

● 濺射真空度： 5 x 10-3 到 5 x 10-1mbar之間

● 濺射電流：0-150mA；可預(yù)設(shè)膜厚或使用內(nèi)置定時(shí)器（選配）

● 濺射時(shí)間：zui長60分鐘

● 碳蒸發(fā)：穩(wěn)定的無紋波直流電源控制的脈沖蒸發(fā)，確保碳棒可重復(fù)蒸碳，電流脈沖1~90A。

● 尺寸和重量：儀器機(jī)箱585mm寬x 470mm長 x 410mm高 (總高: 650mm)