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Patented算法和白光干涉技術創造S/W。獲得WSI/PSI技術測量各種表面材料和參數，包括表面紋理、形狀、臺階高度和更高0.2 um-橫向分辨率?

白光掃描干涉技術(0.1nm)、高速測量表面積、高度和體積的技術。在不破壞任何破壞的情況下，納米系統的(白光掃描干涉法0.1nm到m范圍內測量樣品，并提供真實的樣品三維形狀。此外，重復性小于)，無論放大，0.1nm?；诩{米系統技術的精度)，該產品可***應用于半導體、印刷電路板、顯示、工程部件、化工材料、光學部件、生物、

(0.1nm)、(10 Mm)和高清晰度圖像，在10000 μ2秒內測量樣品，提供真實的(只需將樣品直接放在樣品臺上)反射率為 2D和?3D 測量

產品規格：

• 干涉物鏡：單透鏡可選

• 掃描范圍：270um可選）

• 垂直分辨率：0.5nm?，0.1nm

• 傾斜臺：±Z軸

• 行程：50X50mm（手動）

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應用領域：

Nano View系列為LCD（液晶顯示器）、IC Package（芯片封裝）、Substrate（基板）、Build-up PCB（積層板）、MEMS（微機電系統），Engineering Surfaces（工程表面）等等領域提供納米級別精度的量測。

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