白光干涉儀(WSI)能測量柔軟、正常粗糙表面的表面高度，
與NA無關，提供0.5納米垂直分辨率。不損傷垂直分辨率，可使用所有倍率。

相位差干涉儀(PSI)提供0.1納米的垂直分辨率。
因此，使用非常低的倍率(2.5X)能提高高度分辨率并獲得較大的FOV。

產品描述

NanoSystem NVM-6000P是專用型設備，用于基板表面形貌的測量。

基板上的Via Hole，Pad形狀，pattem形貌和表面形貌等11個項目可以進行自動測量。

在高速測量下仍具有優秀的重復性和準確性，支持用戶設定測量條件和測量數據自動保存及分析功能。

產品規格

掃描范圍：0-180um（270um可選）

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm 

臺階高度重復性:﹤0.5%(1σ)

橫向分辨率：0.2-4um（取決于物鏡和FOV）

工作臺面：510X405mm（程控）

尺寸：1200(w)X1250(D)X1900(H)

應用領域

Nano View系列為LCD（液晶顯示器）、IC Package（芯片封裝）、Substrate（基板）、Build-up PCB（積層板）、MEMS（微機電系統），Engineering Surfaces（工程表面）等等領域提供納米級別精度的量測。包括：PostSpacer,RGB,Charater,Back Pannel,Spray PR,Roughness,VIA hole,Cu Thickness,Cu Pad,Line Profile,Fiber,Array,Semiconductor,MENS,Abraslon,BGA.

ISO 25178 · 4287 國際規格標準化數據

按照ISO國際標準機構規定的規格，以圖表、表格、2D?3D圖像的形式大面積顯示粗糙度、高度及幅度等各類數據。

圖形的粗糙度評價Roughness evaluation of images

Nano System利用從ISO、ASME、EUR等多家國際標準機構獲得的30多個粗糙度參數來評估Sample的粗糙度。