技術(shù)參數(shù)：

1.硬質(zhì)陽極氧化鋁面板，面板尺寸：220mm*220mm，適合于8"圓晶底物烤膠
2.溫度調(diào)節(jié)范圍：室溫至300℃，溫度分辨率：0.1℃
3.7寸全彩觸屏，高級PLC控制，控溫精度達到±0.2℃
4.帶頂升功能的接近烤膠模式，頂升高度范圍：0-30mm可控，電動頂針高度分辨率：0.1mm
5.頂針可使用于直徑或內(nèi)切圓直徑大于40mm的圓形或方形底物
6.1KW鑄鋁高均勻性發(fā)熱部件，熱板表面溫度均勻性：工作區(qū)為±1%
7.可存貯100組烤膠配方，每個配方5個加熱階段，加熱時間和頂針高度可調(diào)
8.外型尺寸：303(W)*446(D)*295(D)

9.熱板表面帶真空吸附功能，確保基片與熱板表面緊密接觸式烤膠
10.提供恒溫模式和線性控溫模式烤膠程序，可實現(xiàn)溫度的線性加熱和降溫控制