技術參數：

加熱面板尺寸:340mm*340mm方形

電源輸入:220V，3500W(110V可選)

控溫范圍:室溫-300°C

溫度分辨率:0.1*C

控溫精度:+0.2C

溫度均勻性:200C以下<1%，200C~300°Cs1.5%

可存貯100組烤膠配方，每個配方可設置5個加熱階段

電動頂針調節高度:0-30mm

頂針高度分辨率:0.1mm

頂針可使用底物直徑大于120mm圓晶，特殊要求可定制

真空接口:HP200-PE設備后板出口外徑6mm

真空輸入要求:0.04~0.09Mpa

外型尺寸:423mm(W)*562mm(D)*295mm(H)