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Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀

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美國Filmetrics F32 美洲 美國 2025-08-11 10:39:19
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核心參數

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產品特點:

Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀特殊的光譜分析系統采用半寬的3u rack- mount底盤,加上附加的分光計,可達到四個不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個位置)。F32膜厚儀軟件可以通過數字I/O或主機軟件來控制啟動/停止/復位測量。測量數據可以自動導出到主機軟件中進行統計過程控制。還提供可選的透鏡組件,以便于集成到現有的生產裝置上。

產品詳情:

Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀



Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產品介紹:

Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀特殊的光譜分析系統采用半寬的3u rack- mount底盤,加上附加的分光計,可達到四個不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個位置)。F32膜厚儀軟件可以通過數字I/O或主機軟件來控制啟動/停止/復位測量。測量數據可以自動導出到主機軟件中進行統計過程控制。還提供可選的透鏡組件,以便于集成到現有的生產裝置上



Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產品特點優勢:

  • 非接觸測量:避免損傷薄膜,適用于脆弱或敏感材料;

  • 高精度與寬量程&:垂直分辨率達納米級,可測厚度范圍從1nm至3mm;

  • 多場景適用性:基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數的薄膜都可以測量。

  • 測量速度快:配置完成后,數秒內即可完成測量。

  • 預裝了100多種材料,使得單層和多層薄膜的測量很容易實現

  • 提供可選的透鏡組件,以便于集成到現有的生產裝置上。


Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產品測量原理:

當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。



Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產應用與膜層范例:

薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光學常數、均勻性、刻蝕量等

薄膜種類:透明及半透明薄膜,常見如氧化物、聚合物甚至空氣

薄膜狀態:固態、液態和氣態薄膜都可以測量

薄膜結構:單層膜、多層膜;平面、曲面



Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產品常見工業應用:

半導體膜層

顯示技術

消費電子

派瑞林

光刻膠

OLED

防水涂層

電子產品/電路板

介電層

ITO和TCOs

射頻識別

磁性材料

砷化鎵

空氣盒厚

太陽能電池

醫學器械

微機電系統

PVD和CVD

鋁制外殼陽極膜

硅橡膠



Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產品參數:

波長范圍:

380-1050nm

光源:

鹵素燈

厚度測量范圍:

15nm-70um

測量精度:

0.02nm

光斑大?。?/p>

探頭距樣品距離0.007倍

樣品臺尺寸:

1mm-300mm



Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀測量圖:



技術資料

  • Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀
    Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀特殊的光譜分析系統采用半寬的3u rack- mount底盤,加上附加的分光計,可達到四個不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個位置)。F32膜厚儀軟件

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