380-1050nm
鹵素燈
15nm-70um
Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀
Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產品介紹:
Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀特殊的光譜分析系統采用半寬的3u rack- mount底盤,加上附加的分光計,可達到四個不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個位置)。F32膜厚儀軟件可以通過數字I/O或主機軟件來控制啟動/停止/復位測量。測量數據可以自動導出到主機軟件中進行統計過程控制。還提供可選的透鏡組件,以便于集成到現有的生產裝置上。
Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產品特點優勢:
非接觸測量:避免損傷薄膜,適用于脆弱或敏感材料;
高精度與寬量程&:垂直分辨率達納米級,可測厚度范圍從1nm至3mm;
多場景適用性:基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數的薄膜都可以測量。
測量速度快:配置完成后,數秒內即可完成測量。
預裝了100多種材料,使得單層和多層薄膜的測量很容易實現
提供可選的透鏡組件,以便于集成到現有的生產裝置上。
Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產品測量原理:
當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產應用與膜層范例:
薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光學常數、均勻性、刻蝕量等
薄膜種類:透明及半透明薄膜,常見如氧化物、聚合物甚至空氣
薄膜狀態:固態、液態和氣態薄膜都可以測量
薄膜結構:單層膜、多層膜;平面、曲面
Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產品常見工業應用:
半導體膜層 | 顯示技術 | 消費電子 | 派瑞林 |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫學器械 |
微機電系統 | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀產品參數:
波長范圍: | 380-1050nm | 光源: | 鹵素燈 |
厚度測量范圍: | 15nm-70um | 測量精度: | 0.02nm |
光斑大?。?/p> | 探頭距樣品距離0.007倍 | 樣品臺尺寸: | 1mm-300mm |
Filmetrics F32 白光干涉膜厚測量儀測量圖:
上傳人:優尼康科技有限公司
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UNICORN α500 低頻消磁系統(EMICancelingSystem,又稱消磁器),DC與AC雙模式主動消磁器,采用高精度純直流測量/反饋/控制電路,適用于改善1000H以下的低頻電磁干擾環境。特別適用于各種電子顯微鏡、光刻機的環境磁場改善,消除低頻電磁干擾。
KURATECA HS華山系列被動式減震臺采用:半膜片式空氣彈簧、整體焊接支架、鐵磁不銹鋼臺面(同OTP臺面)的氣浮隔振光學平臺,整體高度800mm,分為氣浮式支架和臺面兩部分。平臺自帶腳輪,方便移動和調整。這款產品剛性強、穩定性好、隔振效果好、性價比高,適合于對隔振要求較高的環境使用。
KLA iNano 納米壓痕儀可輕松測量薄膜、涂層和少量材料。該儀器準確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。該儀器的力荷載和位移測量動態范圍很大,因而可以實現從軟聚合物到金屬材料可重復測試。模塊化選項適用于各種應用:材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損以及高溫測試。KLA iNano 納米壓痕儀提供了一整套測試擴展選項,包括樣品加熱、連續剛度測量、
KLA iMicro 納米壓痕儀可輕松測量硬涂層,薄膜和少量材料。該儀器準確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試??苫Q的驅動器能夠提供大的動態范圍的力荷載和位移,使研究人員能夠對軟聚合物到硬質金屬和陶瓷等材料做出詳盡及可重復的測試。模塊化選項適用于各種應用:材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損測試以及高溫測試。
KURATECA EST-58-450 桌上型主動式隔振臺來自日本馬自達集團下全資子公司KURATECA,是一塊靈活易用的桌上型主動隔振臺,通過針對低頻振動進行補償,實現全頻段隔振。采用6自由度控制,自適應調節地基振動前饋,大幅降低多方向振動傳遞。顯著提升精密儀器(如透射電鏡、光刻機)的測量穩定性。
KURATECA LS-400 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。KURATECA LS-400 主動式防震臺廣泛用于蔡司、萊卡、日立、日本電子等品牌的大型電子顯微鏡隔振,以及半導體設備、大型干擾儀、電子天平精密設備隔振。LS-400主動式防震臺通過抵消干擾測量破壞性的低頻振動噪聲,幫助用戶從儀器中獲得更多信息。
KURATECA LS-800 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。KURATECA LS-800 主動式防震臺通過抵消干擾測量的破壞性低頻振動噪聲,幫助用戶從顯微鏡中獲得更多信息。采用了超薄型和模塊化設計,簡化了安裝過程,從而在安裝時不需要專用的起重設備(這個方案適合絕大數的SEM)
KURATECA LS-1200 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。KURATECA LS-1200 在LS-800的基礎上通過增加隔振模塊的數量可以加大系統的承重。廣泛用于蔡司、萊卡、日立、日本電子等品牌的大型電子顯微隔振,以及半導體設備、大型干擾儀、電子天平精密設備隔振。