NanoFocus μsurf solar太陽能電池3D激光共聚焦顯微鏡，可以對(duì)太陽能電池片進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)量，廣泛適用于單晶、多晶和薄膜太陽能電池片，一分鐘內(nèi)可以自動(dòng)測(cè)量12個(gè)區(qū)域，是質(zhì)量檢驗(yàn)和生產(chǎn)控制中的最有效的光學(xué)三維表面測(cè)量和分析工具。可以進(jìn)行太陽能電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測(cè)量，制絨后3D形貌表征（單晶金字塔大小、數(shù)量、角度、比表面積，多晶腐蝕坑形貌、密度），粗糙度分析，以及減反射層腐蝕表面的測(cè)量，薄膜小孔的檢測(cè)和自動(dòng)分析。

作為太陽能行業(yè)必要設(shè)備，μsurf solar太陽能電池3D激光共聚焦顯微鏡從硬件到軟件均是針對(duì)太陽能行業(yè)定制開發(fā)出來的，其測(cè)量樣品的平臺(tái)帶有真空吸盤，可以承受210mmX210mm的樣品，能確保太陽能電池片移動(dòng)時(shí)不破壞。適用μsurf solar有利于控制生產(chǎn)工藝,提高效率,是質(zhì)量的可靠保證。

μsurf solar可與集成技術(shù)（DIC微分干涉相襯顯微鏡）。DIC是可能的，例如，金字塔或晶片上的污垢和缺陷快速檢測(cè)的角度依賴性的陳述。相對(duì)于硬件版本，軟件的開發(fā)提供了許多優(yōu)點(diǎn)，DIC納米焦點(diǎn)。它是更容易使用，并可以同時(shí)顯示不同的角度方向，獨(dú)立的高度范圍內(nèi)結(jié)合納米焦點(diǎn)的聚焦技術(shù)，DIC顯微鏡顯示的主要技術(shù)優(yōu)點(diǎn)：測(cè)量圖像聚焦無限深度。此外，光學(xué)可用于具有更高的光圈，并可以模擬任意光源。使用激光共聚焦技術(shù)，**的測(cè)量結(jié)果是獨(dú)立的樣品的顏色和反射率。

μsurf solar支持無損分析沒有制備的樣品。這是為什么μsurfsolar3D激光共聚焦顯微鏡不僅適合在實(shí)驗(yàn)室使用更合適的生產(chǎn)環(huán)境中。它不在意樣品表面是否具有蝕刻結(jié)構(gòu)或抗反射涂層。對(duì)于樣品以及尷尬的特性如陡邊坡，復(fù)雜的幾何構(gòu)型和結(jié)構(gòu)毫微米范圍，僅僅幾秒鐘內(nèi)，μsurf solar就能提供精確和可重復(fù)的三維測(cè)量數(shù)據(jù)。

具有智能算法的工業(yè)專用軟件

特定的算法和模塊的分析，可變曝光時(shí)間，以及不同的太陽表面的測(cè)量模式，使太陽能一個(gè)多功能的解決方案。納米焦點(diǎn)已開發(fā)了專門的軟件是最適合于太陽能電池的反射特性。隨著工具的量化金字塔或檢測(cè)的缺陷，用戶的利潤(rùn)從一個(gè)顯著更容易解釋具有挑戰(zhàn)性的表面。

與新算法相結(jié)合的區(qū)域測(cè)量提供了穩(wěn)定和可重復(fù)的三維數(shù)據(jù)。通過高度和反射數(shù)據(jù)的組合，可以精確地確定邊緣，使手指可以用納米精度測(cè)量高度和寬度。為了在測(cè)量過程中的更多的效率，測(cè)量系統(tǒng)可以配備一個(gè)簡(jiǎn)單的和工業(yè)部門的具體自動(dòng)化。

太陽能行業(yè)解決方案
μsurf solar太陽能電池3D激光共聚焦顯微鏡從硬件到軟件是專為滿足太陽能行業(yè)實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)過程檢測(cè)需求的一個(gè)解決方案，測(cè)試范圍為米級(jí)的超長(zhǎng)行程使得檢測(cè)整個(gè)薄膜太陽能模塊得以實(shí)現(xiàn)，結(jié)合真空吸盤夾具和專門的算法，您可以更安全更有效地測(cè)量與分析反射表面以達(dá)到業(yè)界**的測(cè)量結(jié)果。

技術(shù)參數(shù)
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測(cè)量時(shí)間：2~10秒
測(cè)量原理：非接觸、共聚焦
X/Y方向：平臺(tái)移動(dòng)范圍200mmX200mm，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，最大移動(dòng)速度40 mm/s，X/Y方向分辨率：0.3μm
Z方向測(cè)量范圍：500μm，Z方向分辨率：1nm
物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)
離軸攝像頭(10X)，最大視野8 x 6 mm2(選配)
計(jì)算機(jī)：高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，功能強(qiáng)大且附帶全面解決方案的自動(dòng)化軟件
工作電源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA
材質(zhì)：鋼鐵、橡膠、大理石
潔凈室等級(jí): Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)