儀器簡介：
本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導電膜（金膜），儀器操作簡單方便，是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。
技術指標：
玻璃處理室：∮100毫米，高度130毫米
試樣臺尺寸：∮40毫米可同時放6個樣品杯
金靶尺寸：∮58毫米
真空系統：直聯旋片真空泵1升/秒
真空檢測：皮氏計
真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節工作真空
工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節
可以濺射鐵、鈷、鉺