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KOSAKA接觸式臺階儀ET150

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KOSAKA LAB ET 150臺階儀


設備特點:
KOSAKA ET150基于Windows XP操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET150能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。
ET 150配備了各種型號,提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設計,可直接觀察到工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。

規格
一、定工件:
1. 最大工件尺寸:φ160mm
2. 最大工件厚:50mm
3. 最大工件重量:2kg

二、出器(pick up):
1. Z方向定:Max. 600μm
2. Z方向分解能:0.1nm
3. 定:min.1mgf,max.50mg
4. 半:2 μm
5. 方式:直式
6. 再性:1σ= 1nm

三、X (基):
1. 移動量(最大):100mm
2. 移的真直:0.2μm/100mm
3. 移,定速:0.02 ~ 10mm/s
4. 性尺(linar scale):分解能 0.1μm

四、Z:
1. 移動量:50mm
2. 移速度:max.2mm/S
3. 出器自停止能
4. 位置定分解能:0.2μm

五、工件臺:
1. 工件臺尺寸:160mm
2. 械手傾斜: 1mm/150mm

六、工件察:max.110 倍(可其它高倍CCD)

七、床臺:材花巖石

八、防振臺():地型或桌上型

九、源:AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA

十、本外尺寸及重量: W494mm;D458mm;H610mm, 120kg (含防震臺)

技術資料

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