靈活的自動掃描系統MDPmap

離線工具MDPmap是專為半導體晶片或部分工藝過的晶片的多功能、非接觸和少子壽命測量而設計的。MDPmap能夠連續地改變激發脈沖寬度，從非常短的脈沖(100ns)到穩態測量(幾ms)，研究不同深度的缺陷動力學和少子壽命特性。直觀的繪圖軟件適用于有效的常規測量以及復雜的研發應用。

MDPmap設計用于離線生產控制或研發、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數的小型臺式無觸點電特性測量儀器，在穩態或短脈沖激勵下(μ-PCD)下工作。自動的樣品識別和參數設置允許在從原始生長晶片到高達95%金屬化晶片的各種工藝階段之后，容易地應用于包括外延層的各種不同樣品。

MDPmap的主要優點是靈活性高。例如，它允許集成多達四個激光器，用于從超低注入到高注入的與注入水平相關的壽命測量，或者通過使用不同的激光波長提取深度信息。包括偏光設施，以及μ-PCD或穩態注入條件的選擇。可以使用不同的測量圖形進行客戶定義的計算，以及導出用于進一步評估的主要數據。對于標準測量，預定義的標準僅通過按一個按鈕即可實現常規測量。

優勢

。在幾乎任何生產階段，電活性缺陷或材料性能的可視化實現了工藝優化和設備的性能預測。
。極其通用的測量方法可實現特殊測量以及國際標準的可追溯性。
。小型緊湊的臺式工具，具有很高的測量靈敏度，便于快速常規測量。