德國 PVA TePla等離子清洗系統(tǒng)80 Plus HS, GIGA690,10N Optimus100,80 Plus
PVA是歷史悠久的德國高科技上市公司,在等離子體、真空系統(tǒng)、晶體生長等領(lǐng)域占據(jù)世界領(lǐng)xian地位;PVA TePla是PVA的一個部門,專業(yè)制造等離子清洗機(jī),廣泛應(yīng)用于電子,塑料,橡膠,玻璃等各種材料清洗及表面處理。作為生產(chǎn)等離子體處理設(shè)備的專家,PVA TePla可為半導(dǎo)體行業(yè)提供等離子體清洗設(shè)備和服務(wù)
獨(dú)有的微波等離子(化學(xué))清洗方式
有別于傳統(tǒng)的射頻等離子(物理)清洗方式,微波等離子清洗可以清洗到樣品的每一個部位,實(shí)現(xiàn)清洗過程的自由基不會被障礙物所阻擋,并且不會改變表面的粗糙度。隨著封裝技術(shù)的進(jìn)步,在倒裝和疊晶片等封裝中,射頻等離子清洗并不能達(dá)到工藝要求,微波等離子清洗的特點(diǎn)和優(yōu)勢使得更多用戶的選擇和使用PVA TePla。
等離子清洗在倒裝芯片封裝技術(shù)的已成為必須的過程, 提高產(chǎn)量。先進(jìn)的倒裝芯片設(shè)備在業(yè)界獲得顯著性,在穿透分鐘的差距的模具下,微波等離子體過程是無與倫比的。根據(jù)不同模具的體積,所有表面均可被完全激活和控調(diào)。PVA TePla 的微波等離子體一向可執(zhí)行,無空隙的倒裝芯片底部填充膠,**的附著力和顯著增強(qiáng)的吸濕排汗速度。適合程度的應(yīng)用遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了芯片尺寸20x20mm和50μm以下的bumps。
PVA TePla等離子清洗系統(tǒng)在半導(dǎo)體的應(yīng)用:
? 射頻等離子在IC封裝的應(yīng)用
? 微波等離子在倒裝芯片(Flip chip)工藝的應(yīng)用
80 Plus HS微波等離子系統(tǒng)
是PVA TePla在微晶片封裝方面提供的半導(dǎo)體業(yè)改革。
80 Plus High Speed (HS)正在申請ZG,對比與其他框架和基板片式處理等離子系統(tǒng),該設(shè)備是世界上**一個單腔體支持片尺寸轉(zhuǎn)換,運(yùn)輸和處理并提升了3倍UPH的設(shè)備。該系統(tǒng)針對大批量的芯片制造商在引線鍵合前、塑封前、倒裝片底部填充前等應(yīng)用中提升收率和可靠性。
產(chǎn)量方面的業(yè)界新標(biāo)準(zhǔn):
? 高效率
? 支持 100x300mm 框架
? 最高UPH達(dá)到900 strips/Hr
PVA TePla 其它等離子清洗系統(tǒng)產(chǎn)品:
除半導(dǎo)體外的其它應(yīng)用:
生命科學(xué) (LIFE SCIENCE)
氣體等離子體(Gas Plasma)技術(shù)常用在精密清洗和激活,去污的表面,促進(jìn)功能的生物分子的粘附和結(jié)合特定的化學(xué)蒸氣滅菌的生物體內(nèi)和體外的醫(yī)療設(shè)備。
電子 (ELECTRONICS)
等離子用于在電子工業(yè)中各種各樣的應(yīng)用程序,包括從密封劑和粘合劑的粘合促進(jìn),提高釋放光盤母版壓模上的物質(zhì)。
工業(yè)等離子體應(yīng)用 (INDUSTRIAL PLASMA APPLICATIONS)
PVA TePla 是微波等離子體處理用于制造微芯片、MEMS器件、光伏電池、平板顯示器和探測器,和大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用的市場。
? 增進(jìn)附著力(ADHESION PROMOTION)
? 重要的清潔(CRITICAL CLEANING)
IoN 100 等離子體系統(tǒng)
IoN 100 是專為滿足廣大客戶不斷變化的需求而設(shè)計,它強(qiáng)調(diào)多功能性和控制他們的表面處理需求。其功能提供zuixianjin的過程控制狀態(tài),故障安全系統(tǒng)報警和數(shù)據(jù)采集軟件。這使系統(tǒng)在生命科學(xué)產(chǎn)業(yè),以滿足嚴(yán)格的質(zhì)量控制程序。
氣體等離子體系統(tǒng) - 等離子體筆
Atmospheric Plasma System - Plasma Pen
? 生命科學(xué)與醫(yī)療器械產(chǎn)品
? 汽車、航天、航海方面
? 芯片級器件
? 電子產(chǎn)品包裝
? 平板顯示器
? 電線、電纜、光纖
? 玻璃制造
報價:面議
已咨詢1971次UV清洗燈/UV固化燈/UV殺菌燈具
報價:面議
已咨詢1976次等離子清洗設(shè)備
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已咨詢3342次等離子清洗機(jī)
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已咨詢894次等離子去膠機(jī)
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ASML 光刻機(jī) Twinscan NXT:1980Di
Syskey 緊湊式濺射系統(tǒng) Compact Sputter,靈活的基板尺寸,最大可達(dá)6英寸,基板架加熱溫度最高可達(dá)500℃,出色的薄膜均勻性,誤差小于±3%, 最多可配備5個6英寸磁控濺射源(可選配3或4個),支持射頻、直流或脈沖直流電源,最多可支持3條氣體管路,支持順序沉積和共沉積。
Syskey 緊湊式熱蒸發(fā)系統(tǒng) Compact Thermal ,靈活的基板尺寸,最大可達(dá)6英寸, 基板架加熱溫度最高可達(dá)500℃,出色的薄膜均勻性,誤差小于±3%,可選配電子束或熱舟蒸發(fā)源(最多3個),速率控制沉積,可沉積多層薄膜,選用特定目標(biāo)材料
高真空濺射系統(tǒng) HV Sputter,靈活的基板尺寸,最大可達(dá)12英寸或200×200毫米, 基板架加熱溫度最高可達(dá)800℃,出色的薄膜均勻性,誤差小于±3%
超高真空磁控濺射鍍膜機(jī) UHV Sputter,? 基板支架加熱至 800 °C ? 優(yōu)異的薄膜均勻性小于 ±3% ? 磁控濺射源(數(shù)量最多 8 個),可選強(qiáng)磁版本
Syskey 高真空熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)HV Thermal 高真空熱蒸發(fā)系統(tǒng)可提供的真空環(huán)境 用于常見薄膜沉積,包括金屬、有機(jī)物、鈣鈦礦和化合物。全自動系統(tǒng)可滿足各種應(yīng)用要求,包括OLED、OPV、OPD等。
Syskey 超高真空熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)UHV Thermal, ? 靈活的基板尺寸可達(dá) 8 英寸? 基板支架加熱至 800 °C? 優(yōu)異的薄膜均勻性小于 ±3%? 船和電池源(數(shù)量最多 6 個)? 可以共蒸發(fā)和摻雜。? 用選定的目標(biāo)材料沉積多層薄膜? 可與其他沉積系統(tǒng)集成
Syskey 高真空電子束鍍膜系統(tǒng) HV E-beam, 靈活的基板尺寸可達(dá) 12 英寸,? 優(yōu)異的薄膜均勻性小于 ±3%