【簡介】
馳奔-E系列掃描電鏡,是十多年來,一直從事掃描電鏡研發制造的博士和工程師精心打造。
馳奔-E系列掃描電鏡,采用國際先進技術設計制造,一貫的經典設計路線,緊密貼近用戶。追求經典高品質,追求經濟可靠,包括Cube(小布丁)臺式掃描電鏡、Genesis(起源)小型立式掃描電鏡、Veritas(真相)大型掃描電鏡。形成完善的熱發射電子槍掃描電鏡產品線,可滿足各層次用戶需求。
馳奔-E系列鎢燈絲掃描電鏡,采用統一的優良電子光學技術,臺式電鏡和立式電鏡具有相同的分辨率性能和圖像質量。電子槍均可升級為亮度提高10倍的更高級的電子槍,實現納米尺度形貌快速表征。樣品臺均采用先進優中心結構,方便3D重構
Cube系列桌面臺式掃描電鏡,標準配置五軸優中心樣品臺,樣品室可同時接配SE、BSE、EDS等探測器
Cube100A、使用五軸優中心樣品臺,其中常用的三軸 X Y R 為計算機導航馬達驅動,傾斜T軸和升降Z軸手動。SE探測器成像
【主要特點】:
●具有大型掃描電鏡的高分辨性能,操作簡便,快速成像
●優中心樣品臺,輕易實現3D重構
●馬達驅動樣品臺,批量樣品測試,GX率。
●Se探測器,可切換成Bse信號采集模式,Se形貌反差精細,成分反差較弱
●占地面積小,同類產品高性價比
一次裝載七個標準 φ12.5mm樣品托,樣品坐標可存儲
GX率馬達驅動計算機導航樣品臺
優中心傾斜機構及升降機構
計算機導航控制軟件
(輕易實現微米亞微米尺度樣品表征,具有良好的景深及圖像質量)
【適用范圍】:
掃描電鏡廣泛應用于冶金、機械、陶瓷、化工、半導體、電子器件、紡織、生物學等行業領域,適用于科學研究,工業產品失效分析,產品可靠性控制。先進的電子光學性能,滿足客戶從幾倍到幾十萬倍的快速觀察分析,不但具有強大的圖像處理分析功能,還能廣泛連接各種標準或者非標準探測器,拓展成為可靠的分析型電鏡,實現用戶對材料的全方位微觀分析。
Cube-100A適合批量樣品快速分析測試微區形貌。
【安裝示意圖】
【性能指標】
型號 | Cube-100A |
樣品臺 | 五軸優中心,三軸自動臺 -Y: 40mm (自動) -R: 360°無限 (自動) -Z: 5-20mm (手動) |
電子槍 | 預對中鎢燈絲,三極自動偏壓 |
加速電壓 | 1-20KV (最大發射電流190μA @ 20KV/最大電子槍功率:3.8W) |
探測器 | ET-SED |
物鏡光闌 | 20μm 單光闌 |
分辨率 | 5nm @20KV (4nm@30kv) |
放大倍數 | 20-200,000 X |
樣品室 | 內部尺寸120mm(W)x120mm(D)x120mm(H),Se、Bse、EDS等探測器接口 |
最大樣品尺寸 | Φ90mm x 30mm(H) |
工作距離 | 0-20mm |
掃描光柵運動 | 電位移 ±50μm, 電旋轉 0-360° |
掃描模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可變 TV模式:800x 600像素 慢掃描模式,用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、最大3200x2400像素 |
圖像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空系統 | 全自動真空系統,真空高壓連鎖安全保護 -渦輪分子泵 -旋片式機械真空泵 -電動閥門系統:真空閘板閥、電磁閥等 -高真空優于9x10-3Pa (從大氣到達高真空小于3分鐘) -低真空模式 1-100Pa (選配) |
自動功能 | 亮度/對比度, 聚焦, 象散、電子槍對中、偏壓、飽和,物鏡光闌搖擺對中 |
軟件系統 | 基于Win8,Virtuoso1.1專用控制軟件. 內嵌長度角度面積測量、圖像編輯處理工具。100%鼠標鍵盤操作。 |
主機尺寸/重量 | 400(W)x500(D)x 580(H)mm /70kg |
電源 | 單相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 預對中燈絲,樣品托,碳導電膠帶,導電銀膠,專用工具 |
可選配置 | 30KV加速電壓 | 四位可變物鏡光闌 |樣品室攝相機 | 低真空模式 | 升級LaB6/CeB6陰極 |3D重構成像軟件 | 一體化能譜系統 CubeX | 升級雙探測器Cube plus |
上傳人:北京馳奔儀器有限公司
大小:0 B
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