可用等離子清洗殘留有機物，降低場域變化，可承受溫度>1000℃用于高溫下觀察環(huán)境透射電鏡，可承受惡劣的沉積&化學條件在成像分辨率和機械強度上提供理想的平衡，采用低壓CVD，低應力，提供平整、絕緣、疏水性的平面。