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2025-05-12 23:01:14MOCVD
MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)是一種利用金屬有機化合物在氣相中進行化學反應,生成固體薄膜材料的技術。其基本原理是將金屬有機化合物和反應氣體通入反應室,在高溫下發生化學反應,生成所需的薄膜材料并沉積在襯底上。MOCVD廣泛應用于半導體材料、光學材料、超導材料等領域,具有制備高質量薄膜、成分和厚度可控、易于大規模生產等優勢。

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