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2025-01-21 09:29:54電子束蒸發(fā)
電子束蒸發(fā)是一種物理氣相沉積技術(shù),利用電子束直接加熱材料源,使其蒸發(fā)并沉積在基材表面形成薄膜。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體、太陽能等領(lǐng)域,用于制備高純度、高附著力的金屬、合金及化合物薄膜。電子束蒸發(fā)具有加熱效率高、成膜質(zhì)量好、可制備復(fù)雜形狀薄膜等優(yōu)勢,是科研和生產(chǎn)中常用的薄膜制備技術(shù)之一。

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