探針式輪廓儀/臺階儀Tencor P7 /P17

PLS-F1000晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機(jī)

晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機(jī)使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結(jié)合高精度運(yùn)動模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；

PLS-F1000/F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機(jī)

晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機(jī)PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機(jī)。

PLS-F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動檢測機(jī)

晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動檢測機(jī)使用高精度高速紅外干涉點(diǎn)傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結(jié)合高精度運(yùn)動模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以實(shí)現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測量內(nèi)容包括： 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。

QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀

專為測量旋轉(zhuǎn)對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計(jì)，如金剛石車削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡

三維光學(xué)輪廓儀ContourX-500

ContourX-500 具有卓越的 Z 軸分辨率和準(zhǔn)確度，并具備布魯克落地式白光干涉（WLI）儀器廣受業(yè)界認(rèn)可的所有優(yōu)勢，而占地面積更小

三維光學(xué)輪廓儀ContourX-200

ContourX-200 光學(xué)輪廓儀提供了高級表征能力、可選定制配件、和使用方便三者的完美融合，是同類產(chǎn)品中*快、*準(zhǔn)確、可重復(fù)性*高的非接觸式三維表面計(jì)量系統(tǒng)。

三維光學(xué)輪廓儀ContourX-100

具備最高性價比的 ContourX-100 光學(xué)輪廓儀為精確的、可重復(fù)的、非接觸式表面測量樹立了新基準(zhǔn)。