技術性能指標：

1        電子光學：

           1.1   發射源：鎢燈絲（高性能電子光學鏡筒，雙陽極熱發射電子槍）

           1.2   固定式物鏡光闌，無需手動調整使用方便

           1.3   加速電壓：200V – 30kV，自動256級偏壓設計

           1.4   放大倍數：6× - 1000000×

           1.5   極靴內有一路單獨抽真空系統，保證在低真空和環境模式下電子槍高真空和不受污染，延長燈絲壽命

           1.6   電子束束流：可達到的數值不小于2μA，并連續可調

           1.7   使用工廠預對中燈絲更換方便

2        真空系統

           2.1   1個250 l/s分子渦輪泵+1個機械泵

           2.2   高真空模式：＜1×10-5 Pa

           2.3   低真空模式：10 – 130 Pa

           2.4   環境真空模式：10 – 2600 Pa     

           2.5   高真空模式下的換樣時間：≤150秒

           2.6   低真空及環境真空模式下的換樣時間：≤270秒

3        分辨率

           3.1   高真空模式下的分辨率

                    3.1.1   30 kV下3.0 nm (二次電子)

                    3.1.2   30 kV下4.0 nm (背散射電子)

                    3.1.3   3 kV下8.0 nm (二次電子)

        3.2   環境真空模式下的分辨率（以英文官方樣本公布的參數為準，并作為驗收指標）

                    3.2.1    30 kV下3.0 nm (二次電子)

                    3.2.2    具備獨立的環境真空/超低真空模式二次電子探頭

4        樣品室

           4.1   樣品室內徑：不小于340 mm

           4.2   分析工作距離：10 mm

           4.3   樣品室紅外CCD相機：1個

           4.4   最多可升級8個探測器或附件接口         

5        樣品臺

           5.1   類型：五軸馬達臺，全對中，同時保留五軸手動功能

           5.2   行程：X≥110 mm，Y≥110 mm，（X/Y重復精度2μm）Z≥65 mm，旋轉R=n×360o，傾斜T=-15o/+90o

           5.3   樣品尺寸：可沿 X、 Y 軸完全旋轉時直徑≥122 mm，最大樣品高度≥85mm

6        圖像處理及系統控制

           6.1   極高的6144×4096像素，可保存TIFF/BMP/JPEG格式

           6.2   單窗口或四窗口圖像顯示, 四活動窗口智能掃描技術

           6.3   實時或靜態信號按彩色或按灰度等級混合, 256 幀平均或積分, 數字動畫記錄 (.avi格式), 直方圖及圖像測量軟件

                 6.4   SmartSCAN? 智能掃描技術,蒙太奇圖像導航,

7        節能措施

           7.1   Energy Star認證的顯示器和工作站

           7.2  無需冷卻水和空壓機

8    軟硬件配置系統

     8.1  深圳市天禧儀器自定義軟件系統

     8.2  深圳市天禧儀器離子濺射儀

9        技術服務

9.1     提供該儀器的質量檢驗標準和驗收方法

9.2     整機含第1年的免費保修服務，包含零配件和工時

9.3     安裝調試與驗收賣方應派專家到用戶場地進行安裝調試，對用戶操作人員現場進行使用和維護培訓，培訓和安裝的時間不少于2天，內容包括儀器的原理、使用、日常維護及現場操作。